所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間,指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下,無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低,過濾器的使用效果越好。
小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯,風(fēng)速低了,氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長一些,粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物,因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明,對(duì)于過濾器,風(fēng)速減少一半,粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9),風(fēng)速增加一倍,透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。
與擴(kuò)散的效果類似,當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料),粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長,被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速,帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電,進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。
進(jìn)入無塵車間須知
(1)進(jìn)入無塵車間應(yīng)穿干凈鞋具,不得帶油漬、污泥入內(nèi);
(2)室內(nèi)不得吸煙、飲食和飲水;
(3)焊接、切割、鑿洞等有塵作業(yè)必須加以控制,防止碎屑大范圍擴(kuò)散,每天工作結(jié)束時(shí)應(yīng)將垃圾搬出室外倒入規(guī)定處;
(4)施工材料堆放整齊;
(5)室內(nèi)嚴(yán)禁大小便;