與擴(kuò)散的效果類(lèi)似，當(dāng)過(guò)濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng)，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過(guò)濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過(guò)每只過(guò)濾器的風(fēng)量。

無(wú)塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設(shè)備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來(lái)搭配，才能保持良好的潔凈度；無(wú)塵室運(yùn)行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無(wú)塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無(wú)塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱(chēng)的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)及保養(yǎng)需要經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人士來(lái)執(zhí)行。

無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車(chē)間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開(kāi)始追求無(wú)塵室的質(zhì)量。

建造一個(gè)合格的電子無(wú)塵車(chē)間需要考慮多個(gè)因素，包括空氣過(guò)濾、控制粉塵、靜電消除、溫度和濕度控制以及合適的設(shè)備和工作流程?？諝膺^(guò)濾：安裝的空氣過(guò)濾系統(tǒng)是建造無(wú)塵車(chē)間的關(guān)鍵。使用HEPA（顆?？諝猓┻^(guò)濾器能夠有效地捕捉微小顆粒物，防止灰塵和污染物進(jìn)入車(chē)間。