載板電鍍的工藝流程包括:清潔、脫脂、進(jìn)料、化學(xué)處理、水洗、電解沉積、除膠、終檢等環(huán)節(jié)。其中,化學(xué)處理是整個(gè)工藝流程中重要的環(huán)節(jié),其影響電鍍效果的因素包括電壓、電流、電解質(zhì)濃度、流速等。
鍍層幾何參數(shù):控制是基礎(chǔ)
載板的超細(xì)線路 / 凸點(diǎn)對(duì)幾何尺寸要求,偏差會(huì)直接導(dǎo)致封裝失效(如鍵合不良、短路)。
檢測(cè)項(xiàng)目 核心標(biāo)準(zhǔn)要求 檢測(cè)工具
鍍層厚度 - 圖形銅:厚度偏差≤±10%(如設(shè)計(jì) 10μm,實(shí)際需在 9-11μm);
- 鎳層:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金層:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射線熒光測(cè)厚儀(XRF)、金相顯微鏡
凸點(diǎn)尺寸(Bump) - 直徑偏差≤±5%(如設(shè)計(jì) 50μm,實(shí)際 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一載板凸點(diǎn)高度差≤5μm 激光共聚焦顯微鏡、3D 輪廓儀
線路 / 焊盤精度 - 線寬偏差≤±10%(如設(shè)計(jì) 15μm,實(shí)際 13.5-16.5μm);
- 焊盤直徑偏差≤±5%;
- 線路邊緣粗糙度(Ra)≤1μm
載板電鍍檢測(cè)需嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn),確保一致性和可靠性,常用標(biāo)準(zhǔn)包括:
IPC 標(biāo)準(zhǔn):
IPC-6012DS:《剛性印制板的鑒定與性能規(guī)范(載板專用補(bǔ)充版)》,明確載板鍍層厚度、附著力要求;
IPC-TM-650:《印制板測(cè)試方法手冊(cè)》,包含鍍層厚度、附著力、孔隙率等測(cè)試方法。
JEDEC 標(biāo)準(zhǔn):
JEDEC JESD22-A108:《集成電路封裝的電遷移測(cè)試》;
JEDEC JESD22-B103:《高溫存儲(chǔ)測(cè)試》,用于評(píng)估鍍層長期耐熱性。
企業(yè)定制標(biāo)準(zhǔn):
主流封裝廠(如臺(tái)積電、長電科技)會(huì)在上述標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)上提出更嚴(yán)格要求(如凸點(diǎn)高度偏差≤±5%),需根據(jù)具體訂單調(diào)整檢測(cè)閾值。
可靠性/信耐度
漂錫測(cè)試:288度10sec,31次極限測(cè)試;(631所)
導(dǎo)通測(cè)試&Reflow 回流焊:260度,10秒20次;阻值變化
1.43%,
熱油測(cè)試:260度,20秒,20次;125-65度,15min,500次;、 IST互聯(lián)內(nèi)應(yīng)力測(cè)試:25-125度,1000次;