氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測，檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用普瑞公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。

氪分析用氦離子色譜儀參考：GB/T 5829-2006氪氣項目

指標

高純氪

純氪

一等品

合格品

氪氣（Kr）（體積分數）/10-2

≥

99.999

99.995

99.99

氮（N2）（體積分數）（N2）/10-6

≤

2

8

20

氧（O2）+氬（Ar）（體積分數）/10-6

≤

1.5

5

5

氫（H2）（體積分數）/10-6

≤

0.5

1

2

一氧化碳（CO）（體積分數）/10-6

≤

0.3

0.4

1

二氧化碳（CO2）（體積分數）/10-6

≤

0.4

0.8

1

甲烷（CH4）（體積分數）/10-6

≤

0.3

0.8

1

水分（H2O）（體積分數）/10-6

≤

2

3

5

氙氣（Xe）（體積分數）/10-6

≤

2

20

50

氟化物（CF4）（體積分數）/10-6

≤

1

10

15