真空度顯示：顯示腔體內(nèi)部的真空度數(shù)值

運(yùn)行程序段：分為3個(gè)步驟，綠色表示運(yùn)行狀態(tài)

①真空泵啟動(dòng)②射頻電源打開③放氣

進(jìn)氣流量顯示：通過調(diào)節(jié)A、B流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)氣體進(jìn)入腔體的大小，在兩個(gè)圖標(biāo)顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時(shí)間：顯示設(shè)備清洗時(shí)間

功率:顯示當(dāng)前設(shè)備清洗是清洗功率

設(shè)備溫度：顯示當(dāng)前射頻電源設(shè)備溫度

放氣狀態(tài)：顯示當(dāng)前放氣閥開啟或關(guān)閉狀態(tài)

清洗時(shí)間：點(diǎn)擊可設(shè)置設(shè)備運(yùn)行清洗時(shí)間

清洗功率：點(diǎn)擊可設(shè)置設(shè)備運(yùn)行清洗功率

開始運(yùn)行：點(diǎn)擊可切換設(shè)備開始運(yùn)行或者停止運(yùn)行