潔凈車(chē)間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),一些知名凈化工程公司,在通行標(biāo)準(zhǔn)之外,還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國(guó)際化通行標(biāo)準(zhǔn)的凈化指標(biāo),凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠(yuǎn)超國(guó)際品牌。。
玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時(shí),人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源,經(jīng)測(cè)試,作業(yè)人員占80% 。
十萬(wàn)級(jí)GMP潔凈車(chē)間對(duì)不同的對(duì)象,有不同的玷污物控制要求。
計(jì)有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì):高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學(xué)品等的有關(guān)雜質(zhì)。
也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃() → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。
重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
技術(shù)參數(shù)
換氣次數(shù):十萬(wàn)級(jí)10-15次/小時(shí);
萬(wàn)級(jí)15-25次/小時(shí);
千級(jí)50-52次/小時(shí);
百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s;
壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa;潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa;
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;