標題說明產(chǎn)品名稱準分子激光氣

其他名稱 氟化氬激光氣體（193nm）；氟化氪激光氣體（248nm）；氯化氙激光氣體（308nm）

分子式

UN No. :

UN1956

CAS No. :

產(chǎn)品純度 :

99.999%

包裝規(guī)格 :

鋼瓶容積： 11L，16L，20L，49L，50L

產(chǎn)品說明 :

產(chǎn)品類型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne

產(chǎn)品應用 :

注意事項

準分子激光氣體為高壓充裝氣體，使用時應經(jīng)減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行檢驗，方能繼續(xù)使用。每瓶氣體在使用到尾氣時，應保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa，小不得低于0.25MPa余壓，應將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用。瓶裝氣體產(chǎn)品在運輸儲存、使用時都應分類堆放，嚴禁可燃氣體與助燃氣體堆放在一起，不準靠近明火和熱源，應做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧，嚴禁野蠻裝卸。